直線電機技術已廣泛應用(yong)于(yu)半導體行業所需要(yao)的(de)(de)(de)最先進的(de)(de)(de)運動(dong)系(xi)統中。如果(guo)精度(du)水(shui)平需要(yao)達到亞微(wei)米水(shui)平，位(wei)置穩定性(xing)需要(yao)納米水(shui)平，必(bi)須(xu)采用(yong)最先進的(de)(de)(de)技術。對于(yu)這樣(yang)的(de)(de)(de)要(yao)求，任何部件的(de)(de)(de)缺陷都會(hui)影(ying)響(xiang)整機的(de)(de)(de)性(xing)能。正因為如此，它為用(yong)戶提供了一個完整的(de)(de)(de)運動(dong)系(xi)統平臺，擁有(you)最高(gao)質量的(de)(de)(de)部件和最好的(de)(de)(de)機械結構設計技術。在晶圓(yuan)測試工具中，要(yao)求極高(gao)的(de)(de)(de)精度(du)和生產率(lv)。

　　為(wei)了(le)滿(man)足高(gao)標準的(de)應用要(yao)求，LSM直線(xian)電機及(ji)其獨特的(de)功能(neng)滿(man)足了(le)這個(ge)高(gao)科技行業(ye)的(de)要(yao)求。最終，這些重要(yao)的(de)部件組成了(le)一個(ge)機械系統，實現了(le)最高(gao)的(de)性能(neng)。

　　貼(tie)片(pian)機

　　大多數微(wei)電子器件都要(yao)求進行無(wu)損檢測（NDT）。該(gai)測試(shi)用于(yu)確保產(chan)(chan)品的功能(neng)(neng)和(he)可靠性。由于(yu)在線檢測，速度必須(xu)快(kuai)，精度必須(xu)高，以(yi)確保生(sheng)產(chan)(chan)線的生(sheng)產(chan)(chan)能(neng)(neng)力不受質(zhi)量控制程序的影響。

　　根據(ju)被(bei)測(ce)產品的(de)(de)類型，從(cong)無源器(qi)件到復雜的(de)(de)IC,都需要(yao)不(bu)同的(de)(de)檢測(ce)技(ji)術，如(ru)光(guang)學檢測(ce)、x射線(xian)(xian)檢測(ce)或超聲波(bo)檢測(ce)。由直線(xian)(xian)電機技(ji)術組成(cheng)的(de)(de)完整運動系統，為用戶帶來高精度(du)和最大(da)生產率。

　　在測(ce)(ce)試設(she)備(bei)中，為了達到最大的性(xing)能，通常兩個重要的系(xi)(xi)統(tong)必須保持同(tong)步，移(yi)動平臺(tai)(tai)和(he)測(ce)(ce)試系(xi)(xi)統(tong)本(ben)身。由于(yu)HANS能夠提供一個完整的運動平臺(tai)(tai)系(xi)(xi)統(tong)和(he)運動控制(zhi)(zhi)單元，保證了檢測(ce)(ce)設(she)備(bei)的關鍵運動技術(shu)要求。這使得設(she)備(bei)制(zhi)(zhi)造商能夠專注于(yu)他們在檢測(ce)(ce)系(xi)(xi)統(tong)、缺陷識別軟件等方面的核心競(jing)爭力，同(tong)時要求晶圓運動系(xi)(xi)統(tong)的精(jing)度(du)、重復性(xing)和(he)生產力。