半導體設備直線電機模組
直線電機模組特點,為滿足長行程,高(gao)速度(du)和(he)高(gao)精度(du)的要求(qiu),開(kai)發了直線電機(ji)模組(zu)。配有多種端面夾具,可用于插(cha)裝(zhuang),裝(zhuang)配,搬運,螺釘金(jin)鎖,涂(tu)膠,焊接各種電子或機(ji)械零件。

高負荷,若選用(yong)雙(shuang)軸同步驅動,總推力可達2倍(bei),適用(yong)于大面積工件的視覺掃描檢測,涂膠。
超精(jing)(jing)密(mi),直驅消除了由于(yu)大(da)量附加切換機制(zhi)造成(cheng)的回歸和累積誤差(cha)。該光學測(ce)(ce)量儀具有的分辨率,可達(da)到±0.002毫米的重(zhong)復性。適(shi)合IT設(she)備(bei)精(jing)(jing)密(mi)組裝(zhuang)及測(ce)(ce)試設(she)備(bei)輸送定位。基于(yu)所(suo)使用(yong)的串行通信協議,為你的應(ying)用(yong)提(ti)供不同的精(jing)(jing)度分辨率。
長(chang)行程(cheng),線(xian)性直線(xian)電(dian)機的使用,行程(cheng)可達4000mm,并可根(gen)據用戶要求增加行程(cheng)。
高速(su)加速(su),告(gao)訴(su)減速(su),高速(su)行駛。可縮短往復運動時間,提(ti)高設備生(sheng)產(chan)效率。
可同時(shi)實現長行(xing)程,高精度,高速,低噪音。長行(xing)程2米,精度±0.002毫米,速度2500mm/s,低噪聲(sheng)。壽命(ming)長,噪音小,維修方便。
該直線(xian)電(dian)機模組為無觸(chu)點驅動,其使(shi)用壽命是(shi)普(pu)通螺桿的(de)兩倍以上。此(ci)外,日常使(shi)用THK產品(pin),在高速(su)行(xing)走(zou)時能(neng)輕松保持(chi)低噪音。