由于數(shu)控機床加工(gong)速度(du)的(de)(de)提高(gao)，對加工(gong)精(jing)度(du)的(de)(de)要求(qiu)也越(yue)來越(yue)高(gao)。輪(lun)廓精(jing)度(du)已成為影(ying)響(xiang)工(gong)件表面質(zhi)量的(de)(de)重要因素。對于XY平臺伺服系(xi)統而言，輪(lun)廓加工(gong)軌跡是(shi)X軸和(he)(he)Y軸協調(diao)運動(dong)的(de)(de)結果，輪(lun)廓精(jing)度(du)是(shi)各單軸位置精(jing)度(du)與兩(liang)軸聯(lian)動(dong)精(jing)度(du)的(de)(de)總和(he)(he)。系(xi)統運行過程中，X、Y軸受到載(zai)荷(he)擾動(dong)、機械慣性(xing)、雙軸響(xiang)應速度(du)失配等(deng)影(ying)響(xiang)，對輪(lun)廓精(jing)度(du)有很大影(ying)響(xiang)。

　　與(yu)"旋(xuan)轉電(dian)機+滾珠絲杠"進給(gei)方(fang)式相(xiang)比，直線電(dian)機伺服系(xi)統通過消除中間機械傳動鏈，可以實(shi)現高(gao)響應、高(gao)精(jing)度的直線運(yun)動，避免了(le)有間隙、摩擦、動剛度不足等缺點(dian)。本文(wen)XY平(ping)臺驅動元件采用永磁(ci)直線同步(bu)電(dian)動機，充分發揮了(le)其高(gao)速動態響應和跟蹤精(jing)度高(gao)的優點(dian)。

　　單軸(zhou)獨立控(kong)制(zhi)廣(guang)泛應用于數控(kong)機床多軸(zhou)聯(lian)動(dong)控(kong)制(zhi)等諸多領域，通過降(jiang)低各軸(zhou)的(de)跟蹤(zong)誤差(cha)(cha)間(jian)接降(jiang)低輪廓誤差(cha)(cha)。本(ben)文的(de)單軸(zhou)速(su)度控(kong)制(zhi)器采用PDFF控(kong)制(zhi)，這是一種(zhong)雙自由控(kong)制(zhi)結構(gou)，可以考慮系統(tong)的(de)抗(kang)干擾性(xing)能和快(kuai)速(su)跟蹤(zong)性(xing)能。

　　但是(shi)，由(you)于CETF所包含的(de)參(can)數(shu)(shu)不確(que)定性以(yi)及交(jiao)叉(cha)耦合控(kong)制(zhi)器參(can)數(shu)(shu)的(de)確(que)定難(nan)度較大，本文(wen)提出(chu)了一種變(bian)增益(yi)交(jiao)叉(cha)耦合控(kong)制(zhi)方法，用來解決該問(wen)題(ti)。